��ࡱ� �F>�� -,����/���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� P��KSKS�<<N!�������c� c� J^8� � � 4��$ h� B� X"��z8�C�[��  0�m3W^IQf:S/eczf�� OahV�NNƖ�ؚ(�ϑ�SU\vbc��R�d\Oĉ z 0 w�I��f :Nĉ�IQf:Szf�� OahV�NNƖ�ؚ(�ϑ�SU\vbc��R�v�~�~�[�e ��cؚD�ёO(uHe�v�T�{t4ls^ �:_S�~He�8h �9hnc 0IQf:S�~Nm�SU\Ny�D�ё�{t�R�l 00 0�m3W^IQf:SsQ�N/eczf�� OahV�NNƖ�ؚ(�ϑ�SU\�v�r^�c�e 0��mIQ�^ĉ0202307 �S � ��~TIQf:S�[E� �:S�]N�T�Oo`S@\ur4Yw�I��N 0�m3W^IQf:S/eczf�� OahV�NNƖ�ؚ(�ϑ�SU\vbc��R�d\Oĉ z 0��N N�{�y 0�d\Oĉ z 0 � ��s\ gsQ�`�Q�f�Y N� N0w�I�̀of�S�_��'` яg �IQf:S�[Ɩ�Q�S�N 0�m3W^IQf:S�W���SU\zf�� OahV�NNƖ��[�e�eHh�2022 2025 t^ � 0��mIQ�^�R0202304 �S ��T 0�m3W^IQf:SsQ�N/eczf�� OahV�NNƖ�ؚ(�ϑ�SU\�v�r^�c�e 0��mIQ�^ĉ0202307 �S �I{�OۏIQf:Szf�� OahV�NNؚ(�ϑ�SU\ ��R�_�^��zf�� OahV-NՋ�qSN�NNS:y�:S�v?eV{�e�N �vQ-N�[�c�R͑'Yy��v=�0W0�cGS�NNR�e���~0/ecONZP'YZP:_0�R�_͑�pL�N:y��^(uI{�]\O�c�Q�Nc�[a��v^fnx�NwQSOvbc?eV{0 N��?eV{�c�e/f6R�[�d\Oĉ z�v͑��?eV{�Onc0 S_MRIQf:SckY�N�z4xR�e0;eZWKQ��0l��WGS�~�vsQ.��eg ��NN�SU\X[(W:ONONƖZ�He�^0NN�NMb� O N�[�U0�;NR�e���R��1_0NN�V:S:ONI{��Y�0�NN�SU\�N��Q�S���['`:_�vNy�vbc�c�e�T�d\Oĉ z �EQR�S%c?e�^_�[�T?eV{/ec\O(u ��d�RhQ>yO�RϑƖ-ND��n�R'Y�[zf�� OahV�NN�v/ec�R�^ �b_bR�e�� }ƖZ�0^:W;m�R���S�v�NN�SU\�eu`0 6R�Onc dk�e�N6R;N���N 0IQf:S�~Nm�SU\Ny�D�ё�{t�R�l 00 0�m3W^IQf:SsQ�N/eczf�� OahV�NNƖ�ؚ(�ϑ�SU\�v�r^�c�e 0��mIQ�^ĉ0202307 �S �I{?eV{�e�N:N�Onc0 �b㉳Q�v� �N ��R�N㉳Q �NNĉ!j\0�NN�~�g��ceqN0�NNƖ�u`�_�[�U �v�u�p0�R�N0R2025t^ �zf�� OahV�vsQ�Nf�v�VE��T�V�Q��HQ�v��4YON ��N�SNyb�~R���W�b/g�T^:W��HQ0 D��Rf �v�u�p0 0R2025t^ ��^��Nag|QwQϑ�N���R�v MEMS-NՋ�~ �:Nؚ�z MEMS OahVON�c�O�[6RS0ĉ!jS�R�] g�R ��g�^�m�vx�S0-NՋ�Sĉ!ju�N�v�[te MEMS�N�T�b/gR�e���_ۏ�W��Nyb MEMS OahV6R ��NMb � 8h�_hV�N����N6R ��b/g>fW��cGS0 � N ��R�N㉳Q 8h�_�W@x�b/gR�e���R1_ �v�u�p0 0R2025t^ �b�TirT�Q0zf��~�v�0�]N�c6RI{͑�p�^(u���W ��z4xNybؚ�zzf�� OahV8h�_�b/g ��m�sNybzf�� OahVR�e�N�T�T�^(u0 ��V ��R�N㉳Q zf�� OahVNN�V:S:ON �v�u�p0 0R2025t^ ��^b�Nzf�� OahV�NN�� N N8nON:N;N�vyrr��NN�V:S1*N�N N �>N�Rzf�� OahVؚ4ls^�VE��N�O0ZSȉO0�NN�\O0R�e'Y[�0f[/g��[WI{;m�R6!k�N N �R�eRNu[S�s�X�f�R�[�U0 �V0;N���Q�[ �d\Oĉ zqQN�z NASag0 ,{N�z;`R �qQ�Vag0;N���Q�[S�b�d\Oĉ z�v�Onc0D�ёeg�n0D��R�e_�T�{t�SRI{0 ,{�N�z/ec�[a�0�e_0h�Q�Ty��v3u�bag�N �qQAS Nag0;N���Q�[S�bTvbc�eT�v/ec�[a�0D��R�e_0�[�^D��Rh�Q�Sy��v3u�bag�NI{0 ,{ N�zy��v3u�b �qQ$Nag0;N���Q�[S�by��v3u�b�vAm z�T3u�b�SRI{0 ,{�V�zy��v�[8h �qQ$Nag0;N���Q�[S�by��v�v�St�T8h�Q{|0ċ�[{|y��v�[�^�[8hAm zI{0 ,{�N�zy��v�{t�T�~Heċ�N �qQ Nag0;N���Q�[S�b N�ND��R�`b_�S:S�vsQ;N�{�蕌T3u�bUSMO(W_U\�vcw�{tN�~Heċ�N-N�v#��N�TIN�RI{0 ,{mQ�z�vcw�h�g �qQ Nag0;N���Q�[S�b,{ N�e:g�g03u��USMO�T:S�vsQ;N�{�蕄vL�:Nĉ��N�Sݏ�lݏĉYt�e_I{0 ,{N�zD�R �qQ Nag0;N���f�d\Oĉ z@b�y�vsQ T͋�Ty��v�vLu�[��V0�d\Oĉ z�ʑCg�SgbL��e��I{0    PAGE \* MERGEFORMAT 1  26@BJLNTdz�����θ���pjdZPJ<*#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJPJQJ^Jo(mH sH  o(mH sH o(mH sH nHtHo(mH sH nHtH o(mH sH  o(mH sH #CJ,OJ PJ QJ ^J o(aJ,mH sH #CJ,OJ PJ QJ ^J o(aJ,mH sH #CJ,OJ PJ QJ ^J o(aJ,mH sH #CJ,OJ PJ QJ ^J o(aJ,mH sH +CJ,OJ PJ QJ ^J o(aJ,mH sH nHtH#CJ,OJ PJ QJ ^J o(aJ,mH sH CJ,OJPJ QJ^JaJ,#CJ,OJ PJ QJ ^J o(aJ,mH sH ����  0 2 6 8 < J � � � �������}m[QG=+#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHo(mH sH nHtHo(mH sH nHtHo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH� � � �  " N P d f j l � � ��˹���{kYI7-o(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH � � � � � � � � � � � � � � ��˻���o^E4%B*phCJ OJPJQJaJ B*phCJ OJPJQJo(aJ 0B*phCJ OJPJQJo(aJ mH sH nHtH B*phCJ OJPJQJo(aJ OJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtHo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH � � �    8 @ D R T f � ��ο���n_N?. B*phCJ OJPJQJo(aJ B*phCJ OJPJQJaJ B*phCJ OJPJQJo(aJ B*phCJ OJPJQJaJ B*phCJ OJPJQJo(aJ B*phCJ OJPJQJaJ B*phCJ OJPJQJo(aJ B*phCJ OJPJQJaJ B*phCJ OJPJQJo(aJ B*phCJ OJPJQJaJ B*phCJ OJPJQJo(aJ B*phCJ OJPJQJaJ B*phCJ OJPJQJo(aJ � � � � �    " 0 2 T V ��ʷ���q_QE3#OJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHCJ OJPJQJaJ *CJ OJPJQJo(aJ *#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH$B*phCJ OJQJo(aJ nHtHB*phCJ OJPJQJaJ $B*phCJ OJQJo(aJ nHtHB*phCJ OJPJQJaJ B*phCJ OJPJQJo(aJ (B*phCJ OJPJQJo(aJ nHtH V l v � � � � � � � � � � � �������}q_M;'&CJ OJQJ^Jo(aJ *nHtH_H#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHCJ OJPJQJaJ *OJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH � � �  ",.�ϻ��mYB*/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H&CJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H#CJ OJPJQJ^JaJ KH *_H*CJ OJQJ^Jo(aJ *mH sH nHtH'B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ *"CJ OJQJ^Jo(aJ *nHtH'B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ *3B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ *nHtH_H+B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ *_H .2JNRTXZ\^�й��s\F/,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H*CJ OJQJ^Jo(aJ KH *nHtH_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H*CJ OJQJ^Jo(aJ KH *nHtH_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H ^fjlntv����и��rZC+/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H �����������й��r[C-+B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ *_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H ������������к��s\D-#CJ OJPJQJ^JaJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H*CJ OJQJ^Jo(aJ *mH sH nHtH/B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *_H,B*phCJ OJPJQJ^JaJ KH *_H � (*.BDF�ѹ���iUC+.CJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *nHtH_H"CJ OJQJ^Jo(aJ *nHtH'B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ *.CJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *nHtH_HOJQJ^Jo(aJ *'B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ *.CJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *nHtH_H.CJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *nHtH_H+B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ *_H.CJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *nHtH_H FNP���������ɹ��y]M7+OJQJ^Jo(aJ **CJ OJQJ^Jo(aJ KH *nHtH_HCJ OJPJQJ^Jo(aJ *6CJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *mH sH nHtH_H*CJ OJQJ^Jo(aJ KH *nHtH_H.CJ OJPJQJ^Jo(aJ KH *nHtH_H"CJ OJQJ^Jo(aJ *nHtHCJ OJPJQJ^Jo(aJ *'B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ *OJQJ^Jo(aJ **CJ OJQJ^Jo(aJ KH *nHtH_H �������$46bf���ǵ����saO?-#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHo(mH sH nHtHo(mH sH nHtHo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH"CJ OJQJ^Jo(aJ *nHtH'B*phCJ OJPJQJ^Jo(aJ * �����JL��68������ɷ���}m]M;-' o(mH sH OJPJQJ^Jo(mH sH #OJPJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtHo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtHOJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH#OJPJQJ^Jo(mH sH nHtH����������������ξ����} o(mH sH CJOJPJQJ^Jo(aJCJOJPJQJ^Jo(aJCJOJPJQJ^Jo(aJUCJOJPJQJ^Jo(aJCJOJPJQJ^Jo(aJUCJOJPJQJ^Jo(aJCJOJPJQJ^Jo(aJUCJOJPJQJ^Jo(aJCJU BLN� � �  " � � �*P���������������������WD�`�WD�`�WD�`� & FC$ & FC$a$$VD�^�WD�`�a$$VD�^�WD�`���6��L�8�������������������������WD�`�* �9r d�G$ �9r 8$7$1$$$$9D4$5$6$3$H$A$WD�`�  �9r �9r WD�`�WD���`��:��. ��A!�#��"�$��%��S��2P0p1�80���3���3���%o(0�3��������&  �66 666666���� 0@P`p������6666 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p��l@��lck�ed��a$$1$WD��p`�p0CJ OJPJQJ^JaJKHmH sH nHtH_HF@Fh�� 1d��a$$$$@& PJ^JKH,R@Rh�� 2d��[$XD\$YD$$@&OJPJQJ5F@Fh�� 3d��[$XD\$YD$$@&5V@Vh�� 4d��[$XD\$YD$$@&CJ OJPJQJ54A@���4؞���k=�W[SOCJ OJPJQJNi@���Nnf�h�